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    150mm CMP TOOL
    手动衬底抛光设备
     
    FTB150MP是根据实验室客户需求开发的实验用6英寸CMP设备。该设备适用于多种材料,配备性能优越的抛光单元,可实现晶圆表面的超高平整度,性价比高、是满足高精度制程的实验室解决方案。
    • 晶圆尺寸

      ≤6 inches

    • 晶圆材质

      Si, SiC, GaN等

    精致小巧全功能
    专注小尺寸领域的核心研发与应用

    +86-0510-81816658

    sales@wxautowell.com

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